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低温泵

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产品名称: 低温泵
产品型号: CRYO-U12H
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

低温泵  的详细介绍

ULVAC 低温泵 CRYO-U12H

特点
特别适用于中，大型规模的生产装置。
热负荷性能强，可适用于多种工艺。
标准规格

排气速度(20℃) 氮 L/s 4,000
氢 6,000
氩 3,300
水 9,500
极限压力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
*大流量 氩 Pa・L/s(Torr・L/s) 2.0×103(15)
氢 4.1×102(3.1)
排气容量 氩 Pa・L(Torr・L) 2.1×108(1.6×106)
氢 9.8×105(7.4×103)
冷却下降时间(动力循环) min(Hz) 85/75(50/60)
吸气口法兰 UVG-300,10BANSI
压缩机组 C30VRT
重量 Kg 40.0

*维护周期：16,000小时
*移动托盘可选

外形尺寸 (单位:mm)

u12h.gif


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