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低温泵

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产品名称: 低温泵
产品型号: CRYO-U10HSP
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

低温泵  的详细介绍

ULVAC 低温泵 CRYO-U10HSP

特点
*适合溅射应用。
氩气容量是现有型号（U10H）的2倍。
再生时间间隔延长意味着更高的可用性。
可以进行多个连接（*多3个）。
标准规格

排气速度(20℃) 氮 L/s 2,400
氢 3,600
氩 2,000
水 6,900
极限压力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
*大流量 氩 Pa・L/s(Torr・L/s) 1.30×103(9.8)
氢 2.1×102(1.6)
排气容量 氩 Pa・L(Torr・L) 2.0×108(1.5×106)
氢 1.2×106(9.0×103)
冷却下降時間
(动力循环) 		min(Hz) 120/110(50/60)
吸气口法兰 UVG-250,10BANSI
压缩机组 C15R
重量 Kg 36.0

*维护周期：16,000小时
*移动托盘可选

外观尺寸 (单位:mm)

u10hsp.gif


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