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低温泵

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产品名称: 低温泵
产品型号: CRYO-U4H
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

低温泵  的详细介绍

ULVAC 低温泵 CRYO-U4H

特点
*大发挥了4-inch低温泵的排气特性。
高排气速度有助于提高排气效率和生产率。
特别适用于半导体制造设备和小型设备的溅射工艺。
1台压缩机*多可以运行四台泵。
可以根据您的应用进行设计和制造。
标准规格

排气速度(20℃) 氮 L/s 450
氢 500
氩 370
水 1,100
极限压力 Pa 10-7
*大流量 氩 Pa・L/s 1.3×103
排气容量 氩 Pa・L 1.0×107
氢 1.5×105
冷却下降时间 min(50/60Hz) 45/50
重量 Kg 14.5

外形尺寸 (单位:mm)

u4h.gif


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