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排气单元

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产品名称: 排气单元
产品型号: VFR-200M/X
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

排气单元  的详细介绍

ULVAC 排气单元VFR-200M/X VPC-053

特長
可以在不停止主泵的情况下打开真空室。
使用三通阀，组件更少，维修更容易。
真空计等配件可以存放在同一个架台上。
空冷型，不需要冷却水。
带有轮子，易于移动。
配有调节器，可以确保安装的**性。
规格

型号 VPC-053
极限压力
7.0×10-４Pa
1.5×10-４Pa（使用液氮时）
主泵
油扩散泵（空冷）　50 L/sec
辅助泵
油回转真空泵　20 L/min
メイン阀门
25A蝶阀
辅助阀门
三通阀
吸气口
VG-25
重量
20kg
*大尺寸　（W×D×H）
350mm(W)×320mm(D)×461mm(H)
※电离真空计・皮拉尼真空计・液氮阱・吸气法兰・油雾阱可选

效用

型号 VPC-051
所需电力
单相　100V　0.63kVA
接地端子
Ｄ种　（接地电阻值／100MΩ以下）
安装
乙烯基电缆（带插头）　2m

油扩撒泵

ph_dpf200.jpg
型　　式 DPF-200
极限压力
10-5Pa
*大排气速度
200L/sec
临界背压
20Pa
所要電力
单相 100V 0.45kW
使用油
SX 70cc
质量
5kg
吸气法兰
VG-65
排气管
Φ27mm
冷却方式
空冷

尺寸图

zu_vfr200mx.gif

排气系统图

haikizu_vfr200mx.gif

可选部件

zu_vfr200mx_op.gif


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