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排气单元

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产品名称: 排气单元
产品型号: VPC-250F
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

排气单元  的详细介绍

ULVAC 排气单元 VPC-250F

特点
可以在不停止主泵的情况下打开真空室。
使用三通阀，组件更少，维修更容易。
油扩散泵是空气冷却，不需要冷却水。
带轮子的排气系统，易于移动。
规格

型号 VPC-250F
极限压力 10-４Pa台
10-５Pa（使用液氮时）
主泵 油扩散泵（空冷）　200 L/sec
辅助泵 油回转真空泵　100 L/min
主阀门 65A插板阀
辅助阀门 三通阀
吸气口 VG-65
重量 55.7kg
*大尺寸　（W×D×H） 530mm(W)×537mm(D)×735mm(H)

※电离真空计・皮拉尼真空计･液氮阱・吸气法兰・油雾捕集器是可选的。

效用

型号 VPC-250F
所需电力
单相　100V　1.35kVA
接地端子
Ｄ种　（接地电阻值／100MΩ以下）
安装
乙烯基电缆（带插头）　2m

油扩撒泵

ph_dpf200.jpg
型　　式 DPF-200
极限压力
10-5Pa
*大排气速度
200L/sec
临界背压
20Pa
所要電力
单相 100V 0.45kW
使用油
SX 70cc
质量
5kg
吸气法兰
VG-65
排气管
Φ27mm
冷却方式
空冷

尺寸图

zu_vpc250f.gif

排气系统图

zu_vpc250f_02.gif

可选部件

zu_vpc250f_ope.gif


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