ULVAC PST系列用控制器 GST-07L-B
特点 小型・轻量 搭载CPU实现多功能化。 单个装置可以控制所有离子溅射泵(PST系列)。 通讯设备标准配件 外部通信控制功能是标准配置,因此可以进行远程控制和自动操作。 XHV対応 自动启动电路和软件启动功能可*大限度地减少泵电池的污染 (→**1340297和其他申请待定) **功能改进 具有操作开关的防错功能和各种保护的互锁功能。 采用高氟橡胶树脂高压电缆,具有优异的耐热性,耐寒性和电气特性。 限制使用指定的有害物质(RoHS指令)。 符合CE标志 用途 加速器 电子显微镜 分析机器
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