ULVAC 涡轮分子泵 UTM1600A
特点 泵体和控制器一体化 泵体和控制器之间不需要复杂的布线工作。 安装方向自由 安装方向没有限制,扩展了设备设计的自由度。 广域大流量设计,适用于轻工艺 泵速可以在25%至100%的范围内变化,腔室的压力可以调节。 高耐久性和**性 已经通过各种**确认测试,例如空气冲击测试和触地测试。 用途 各种设备的主真空排气系统 ・半导体制造设备 ・蒸发设备 ・溅射设备 ・分析设备 ・实验设备等 ・研究开发设备 不会生成副反应物的轻工艺的主排气系统 替换设备上的有扩散泵 其他一般高真空排气用途 规格
*1:顺序表示。 *2:在没有保护网时的值。 *3:UTM2300A和UTM3400A为计算值。 *4:不能同时满足*大吸气口压力和*大排气口压力的条件。 *5:请勿使用反应性气体,腐蚀性气体。关于气体气体请咨询我们。 *6:不结露。 *7:30SCCM吸引时。 *8:螺栓的强度和固定方法等的各种条件,详细信息请参照规格书。
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注)出口、气体吹扫口的位置和相位、 冷却水阀和冷却水阀接头的位置和相位因型号而异。 有关详细信息,请联系我们。
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