ULVAC 涡轮分子泵 UTM300B
特点 安装方向自由 安装方向没有限制,扩展了设备设计的自由度。 搭载控制器 控制器安装在主体上,有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。 高压缩比・高排气圧力 高压缩比和高背压操作使得辅助泵可以实现小型化。 三种法兰可供选择 VG、ICF、ISO-K三种类型的吸气口法兰可供选择。 清洁真空 在运行时以及泵停止时,碳氢化合物的回流很少。 用途 分析设备、研究开发设备、实验设备等的主排气系统 蒸发设备、溅射设备等著排气系统 H2、He等轻气体主排气系统
规格
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