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涡轮分子泵

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产品名称: 涡轮分子泵
产品型号: UTM70B
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

涡轮分子泵  的详细介绍

ULVAC 涡轮分子泵 UTM70B

特点
安装方向自由
安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。
搭载控制器
控制器安装在主体上，有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸。
高压缩比・高排气圧力
高压缩比和高背压操作使得辅助泵可以实现小型化。
三种法兰可供选择
VG、ICF、ISO-K三种类型的吸气口法兰可供选择。
清洁真空
在运行时以及泵停止时，碳氢化合物的回流很少。
用途
分析设备、研究开发设备、实验设备等的主排气系统
蒸发设备、溅射设备等著排气系统
H2、He等轻气体主排气系统

规格

型号 UTM70B UTM300B
泵体 冷却方式 自然空冷 強制空冷 自然空冷 強制空冷
法兰口径 吸气口*1 VG65, ICF114, ISO063-K VG100, ICF152, ISO100-K
排气口 KF16 KF16
排气速度
(无防护网时) 		N2 70 L/s 280 L/s
He 60 L/s 270 L/s
H2 49 L/s 220 L/s
到达压力 *2 烘烤后 - *3 10-8Pa - *3 10-8Pa
烘烤前 10-6Pa 10-6Pa 10-6Pa
*大压缩比 N2 : >1×109, He : 4×107, H2 : 4×105 N2 : >1×109, He : 7×106, H2 : 1×105
*大吸气口压力
*4, *5, *6 		N2 0.43Pa 1.1Pa 0.06Pa 0.7Pa
*大排气口压力
*4, *5, *7 		N2 300Pa 900Pa 100Pa 1000Pa
连续运转
*大流量
*8 		无排放
气体 		N2 15sccm *9 40sccm *9 10sccm *10 100sccm *10
无排放
气体 		Ar - 10sccm *9 - 30sccm *10
有排放
气体 		- 15sccm *9 - 40sccm *10
推荐辅助泵
(10SCCM吸引时 ) *11 		>60L/min >120L/min
质量 VG：3.3kg, ISF：3.0kg, ISO：5.0kg 6.0kg / 9.0kg 6.3kg / 9.3kg
回转数 87000rpm 60000rpm
启动时间（Up to 80%）
(DC24V 背圧:5Pa以下时） 		1.7 min 3.5 min
表面处理 *12 无
安装方向 全方位安装可能
噪音 *13 <48dB(A) <50dB(A)
控制器 输入电源 DC24V ±5%, 120W DC24V ±5%, 180W
触点输入输出 REMOTE(D-sub 15针公头)数字输入/输出4点，模拟输出1点
串行通信 RS-485(D-sub 15针公头,与REMOTE共用)
LED显示 POWER,NORMAL,ALARM
开关 START/STOP,RESET
回转数可变机能 在泵规定回转数25%～100%间、可以变更运转回转数。（设定为0.1%单位）
异常检测 报警，检测警告内容
保护动作 报警，显示警告内容
标准附属品 使用说明书（CD-R）、防护网（**VG、ICF。ISO法兰的已组入垫片）、
垫片（吸气口用）、防尘帽（吸气口、排气口、连接器用）各1个
合格标准 CE, TUVus
*1 订购时请选择吸气口法兰。
*2 使用2段式辅助泵时
*3 **于使用ICF法兰强制空冷时才能烘烤。
*4 周围温度为25°C时的值。允许值随周围温度变化而变化。
*5 不能同时满足*大吸气口压力和*大排气口压力。
*6 为可连续排气的*大吸气口压力。
*7 来自进气口的排气流量为0sccm时的可连续运行的排气口的*大压力。
*8 周围温度为5～25°C时的值。排放气体请使用N2以25sccm进行。
*9 以60L/min使用辅助泵时的值。
*10 以120L/min使用辅助泵时的值。
*11 气体量较大时，在选择辅助泵时请保证排气口的压力要在*大排气口压力以下。
*12 请勿流入反应性气体、腐蚀性气体、含Ga气体。其他相关问题请联系我们。
*13 ISO法兰型。依据本公司的测量方法。

尺寸图

  • UTM-70Butm-b_size_en1.png
  • UTM-300Butm-b_size_en2.png



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