ULVAC 溅射离子泵 PST-030CU
特点 应用于极・超真空,已通过ISO标准,极限压力10-9 Pa测试 。 稀有气体排气增强型(AU型)的排气性能是氩气的两倍。(与本公司相比) 在超高真空范围内实现高抽速。 在短时间内可以达到超高真空。 在超高真空范围内具有出色的启动特性。(超高真空范围内持续放电) 用途 加速器 电子显微镜 电子束曝光装置 讨厌振动的分析装置 极・超高真空环境下的使用等 规格 型号 PST-030CU PST-030AU PST-050CU PST-050AU PST-100CX PST-100AX 主要对象气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 排气速度* (再生排气速度) 0.03m3/s (N2 测定时) 0.013m3/s (Ar 测定时) 0.045m3/s (N2 测定时) 0.016m3/s (Ar 测定时) 0.10m3/s (N2 测定时) 0.05m3/s (Ar 测定时) 到达压力 10-9Pa 动作压力 推荐值 <8.0×10-3Pa <5.0 x 10-3Pa 内容积 0.67 X 10-3m3 1.3x10-3m3 3.3x10-3m3 泵元件数量 CU型单元×1 式 AU sell×1式 CU sell×1 AU sell×1 CX sell×1 AX sell×1 连接法兰规格 UFC070 UFC114 UFC152 施加电压 DC+7.5kV 加热器 无设定 AC200V, 300W AC200V, 320W 烘烤温度 250℃ 质量 9.5 kg 12kg 37kg 外形尺寸 W x H x D 103×183×187 mm 153×204×241mm 155×336×340mm 使用环境 温度范围 5~40℃ 湿度范围 85%以下(无结露) 固定泵的螺栓孔尺寸 4处-M5 深10mm 4处-M8 深6mm 推荐的控制器 GST-07L-B *1 GST-07L-B型控制器使用时 型号 PST-110AU PST-200CXII PST-200AXII PST-400CXII PST-400AXII 主要对象气体 活性气体 活性气体 希有气体 活性气体 希有气体 排气速度* (再生排气速度) 0.11m3/s (N2 测定时) 0.2m3/s (N2 测定时) 0.02m3/s (Ar 测定时) 0.36m3/s (N2 测定时) 0.19m3/s (Ar 测定时) 到达压力 10-9Pa 10-10Pa 动作压力 推荐值 <4.5x10-3Pa <3.8x10-3Pa <3.0x10-3Pa 内容积 6.5x10-3m3 11x10-3m3 14x10-3m3 泵元件数量 AU sellx1 CX sell×2 AX sell×2 CX sell×4 AX sell×4 连接法兰规格 UFC152 UFC203 施加电压 DC+7.5kV 加热器 无设定 AC200V, 600W AC200V, 800W 烘烤温度 250℃ 质量 36.5kg 65kg 124kg 外形尺寸 W x H x D 171×387×293mm 296×361×376mm 296×544×376mm 使用环境 温度范围 5~40℃ 湿度范围 85%以下(无结露) 固定泵的螺栓孔尺寸 4处-M6 深5mm 4处-M8 深15mm 6处-M8 深度15mm 推荐的控制器 GST-07L-B *1 GST-07L-B型控制器使用时 PST系列控制器 型号 GST-07L-B 输入规格 输入电压、电流 AC100~115V±10% ・ 50/60Hz~3.0A AC200~240V±10% ・ 50/60Hz~1.5A 泄露电流 6mA以下 输入电压切换方式 手动(通过电源内部DIP开关操作) 输出规格 额定电压 DC +7.5kV(约1.0~7.5kV大小可变) 额定电流 DC30mA以下 输出极性 正极性 输出特性 恒压特性 显示方式 数字显示(7段 LED显示) 表示范围 输出电流显示范围 1μA~30mA(mA, μA两种单位自动切换) 输出电压显示范围 0.0~7.5 kV DC 压力显示 Pa 1×10-8~1×10-2 mbar 1×10-10~1×10-4 压力设定点 2点 保护功能 错误显示/配备各种保护功能 显示亮灯,高电压 (HV) 输出断开 (Err. 0-8) 停电后的恢复 在HV-ON开关处于ON状态时,停电后可自动恢复。 外部控制功能 各种输入功能 (付REMOTE接头), 搭载RS232C通讯控制 Monitor端子输出信号 根据面板7位显示比例的输出, 各段DC0~10V F.S 允许负载阻抗100kΩ以上 REMOTE/LOCAL 通过前面板的开关进行切换 冷却方式 强制空冷方式 质量 本体 : 4.0kg 外形尺寸 W×H×D 200 x 99 x 370 mm (架子安装五金件除外) 使用环境 温度范围 0 ~ 40℃ 湿度范围 85%以下(无结露) 符合规格 CE, cTUVus 排气速度曲线 PST-030CU_AU PST-050CU_AU PST-100CX_AX PST-110AU PST-200CXII_AXII PST-400CXII_AXII 尺寸图 PST-030CU_AU PST-050CU_AU PST-100CX_AX PST-110AU PST-200CXII_AXII PST-400CXII_AXII
*1 GST-07L-B型控制器使用时
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