ULVAC 涡轮分子泵 YTPー50MB
特点 辅助泵可以选择:辅助泵除了可以选择搭载油回转泵的标准型以外,还可以选择搭 载干泵的规格。 优良的停电对策:前级阀门为标配的电磁阀,防止停电时候逆流发生故障。 可确认粗抽状况:标配有皮拉尼真空计,可在粗抽排气过程中确认压力 可排气至UHV区 安装选购配件的烘烤加热器并进行脱气处理,可以排气至UHV区。 (*产品规格值) 用途 从大气压到高真空的排气系统 各种实验、研究装置的排气系统 高纯气体的真空置换 超高真空装置的粗抽排气系统 分析装置的排气系统 规格 型号 YTP- 50MB YTP- 50SAB YTP- 50MB-DRY YTP- 50SAB-DRY YTP- 300MB YTP- 300SAB YTP- 300MB-DRY YTP- 300SAB-DRY 吸气口 ICF114, VG65, ISO63-K ICF152, VG100, ISO100-K TMP 到达压力 *1,*2 烘烤后 10-6Pa 10-6Pa 烘烤前 10-8Pa 10-8Pa TMP 排气速度 *3 N2 70 L/s 280 L/s H2 49 L/s 220 L/s 辅助泵 排气口法兰 G3/4 NW16 G1 NW16 辅助泵 排气速度 50Hz 50 L/min 90 L/min 200 L/min 250 L/min 60Hz 60 L/min 100 L/min 240 L/min 300 L/min TMP背压・ 粗抽压力监测 皮拉尼真空计(2.7×103~10-1Pa) 前级阀门 带油回转泵自动排油机构的电磁阀(L型电磁阀) 输入电压 单相 AC100V(50/60Hz) 输入电缆长度 5m(带3P插座) 电源容量 1.2 kVA 0.9 kVA 1.7 kVA 1.6 kVA 稳定时功率 0.6 kVA 0.4 kVA 1.0 kVA 质量 55 kg 57 kg 86 kg 85 kg *1:烘烤仅可在ICF法兰规格下进行。 *2:排气速度为无防护网时的值。 *3:无保护网下的值。 尺寸图 Unit:mm YTP-50MB YTP-50SAB YTP-50MB-DRY YTP-50SAB-DRY A 580 580 A' 592 592 B 400 450 C 70 70 D 160 160 E1 430 430 E2 412 412 Unit:mm YTP-300MB YTP-300SAB YTP-300MB-DRY YTP-300SAB-DRY A 650 650 A' 665 665 B 450 500 B' 492 542 C 100 100 D 100 100 E1 440 440 E2 428 428
*1:烘烤仅可在ICF法兰规格下进行。 *2:排气速度为无防护网时的值。 *3:无保护网下的值。
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