ULVAC 油扩散泵 PFL-22TM
特点 与其他相同口径的泵相比,具有更高的抽速。 几乎没有油蒸汽回流 高效且经济,需要动力少,油也很少。 加热器的更换和修理非常容易。 焊接技术非常好,使用氦气检漏仪进行过完整的泄漏测试,因此具有非常高的机械性和真空性。 规格
*1 当冷却水量为20℃时,极限压力基于电离真空计。 *2 这里是根据扩散泵*大流量来选择辅助泵的。 *3 通常情况下,考虑到粗抽时间,使用比这里所示的更大的机械增压泵和油回转真空泵也是合适的。
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