首页 >>> 产品目录 >>> 工事用品·环境设备 >>> 工业泵 >>> 真空泵

涡轮分子泵

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 涡轮分子泵
产品型号: UTM1300A-MS
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

涡轮分子泵  的详细介绍

ULVAC 涡轮分子泵 UTM1300A-MS

特点
泵体和控制器分开。控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。
自由的安装方向。自由的安装方向使系统装置的设计更灵活。
排气速度300L/s～4000L/s的型号阵容。
分子泵转速在25-100%范围内可变。通过改变转速在腔室中实现压力调节。
高耐用性和**性。通过了大气冲击试验、急停测试等各种**性确认试验。
用途
各种设备的主真空排气系统
- 半导体制造设备
- 蒸镀设备
- 溅射设备
- 研究开发设备
- 分析设备、实验装置等
主真空泵系统，用于不产生副反应生成物的轻工艺产线的真空系统。
其他的高真空排气系统。
规格

表１
型式 UTM300A-MS UTM400A-MS UTM800A-MS UTM1000A-MS
吸気口 VG100 / ICF152 VG150 / ICF203 VG200 / ICF253
排気口 KF25 KF40
冷却方式 水冷 空冷 水冷 空冷 水冷 空冷 水冷 空冷
到達圧力 *1 Pa 10-7 10-8
排気速度 *2 N2 L/s 320 420 800 1080
Ar L/s ー
He L/s 340 360 800 930
H2 L/s 320 340 700 790
圧縮比 N2 1×109
He 8×104
H2 1×104 4×103
*大吸気口圧力 *3 Pa 200 1.3 200 1.3 400 1.3 400 1.3
*大排気口圧力 *3 Pa 400 40 400 40 665 40 665 40
回転数 rpm 45000 35000
起動時間 5分以内
取付方向 全方位取付可能
表面処理 镀镍
冷却水 流量 L/min 1～3 ー 1～3 ー 1～3 ー 1～3 ー
水圧 MPaG 02～0.5 ー 02～0.5 ー 02～0.5 ー 02～0.5 ー
騒音 dB(A) 60
質量 kg 14 33 32
建议使用辅助泵 200L/min以上 500L/min以上
控制器 構成 独立
入力電源 単相AC200 ～240V ±10%（50/60Hz ±2Hz）
*大所要電力 kVA 0.55 1.0
回転数可変機能 运行速度可在泵指定速度的 25% 至 100% 之间变化（以 0.1% 为增量进行设置）。
外部制御 接点入出力
RS-232C / RS-485
質量 kg 8

*1: 表示订单。
*2：不含保护网的数值。
*3: 不能同时满足*大入口压力和*大出口压力的条件。

表２
型式 UTM1300A-MS UTM1500A-MS UTM2400A-MS UTM3400A-MS UTM4300A-MS
吸気口 VG200 / ICF253 VG250 VG300 / VG350 VG350
排気口 KF40
冷却方式 水冷
到達圧力 *1 Pa 10-7
排気速度 *2 N2 L/s 1300 1500 2100 3200 4400
Ar L/s ー 2000 3100 4200
He L/s 1050 1200 2240 3100 ー
H2 L/s 750 800 1770 2200 2600
圧縮比 N2 6×108 1×109
He 1×104 7×104 1×105 3×104
H2 1×103 3×103 6×103 2×103
*大吸気口圧力 *3 Pa 133 40
*大排気口圧力 *3 Pa 270 270
回転数 rpm 30300 27000 27600 24000
起動時間 7分以内 11分以内 12分以内 18分以内
取付方向 可向所有方向安装
表面処理 镀镍
冷却水 流量 L/min 1～3 2～4
水圧 MPaG 02～0.5
騒音 dB(A) 60 57 60
質量 kg 39 42 70 84 105
推奨補助ポンプ 600L/min以上 1300L/min以上 1500L/min以上
コントローラ 構成 分离式
入力電源 単相AC200 ～240V ±10%（50/60Hz ±2Hz）
*大所要電力 kVA 1.0 1.5
回転数可変機能 运行速度可在泵指定速度的 25% 至 100% 之间变化（以 0.1% 为增量设置）。
外部制御 接点入出力
RS-232C / RS-485
質量 kg 8

*1: 表示订单。
*2：不含保护网的数值。
*3: 不能同时满足*大入口压力和*大出口压力的条件。




产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注：1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!