ULVAC 涡轮分子泵 UTM1000A-MS
特点 泵体和控制器分开。控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。 自由的安装方向。自由的安装方向使系统装置的设计更灵活。 排气速度300L/s~4000L/s的型号阵容。 分子泵转速在25-100%范围内可变。通过改变转速在腔室中实现压力调节。 高耐用性和**性。通过了大气冲击试验、急停测试等各种**性确认试验。 用途 各种设备的主真空排气系统 - 半导体制造设备 - 蒸镀设备 - 溅射设备 - 研究开发设备 - 分析设备、实验装置等 主真空泵系统,用于不产生副反应生成物的轻工艺产线的真空系统。 其他的高真空排气系统。 规格
*1: 表示订单。 *2:不含保护网的数值。 *3: 不能同时满足*大入口压力和*大出口压力的条件。
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