ULVAC 螺杆型干泵 LS1200A
特点 ■大气压附近的排气速度*大为80m3/h，与以往的真空泵相比，排气时间可缩短约20%。 ■标配的专用消音器能解决干式真空泵特有的噪音问题。极限压力时的噪音值在61dB（A）以下， 这是一个在运转过程中也不会打扰到您的噪音等级（*1)） ■C规格标配的ECO-SHOCK技术是一种省电的爱发科独有技术。 该技术可将极限压力下的消耗电量降到0.6kW以下（*2) ■LS系列无需轴封气体。以氮气和空气等的排气为主的清洁工艺可降低运行成本（*3) ■希望进一步提高排气速度的话，建议您搭配机械增压泵使用。 通过组合使用排气速度可以达到120～1200m3/h。 （*1）LS120A-C时 （*2）C规格时 （*3）L规格还可以使用稀释气体。 用途 LS系列有两种规格。 首先是面向清洁工艺的规格。 为内置ECO-SHOCK的低功耗型，适于空气排气和N2排气等清洁工艺用途。 具体来说，包括溅射、镀膜、贴合/load lock室/TMP辅助等。 其次是面向轻工艺的规格。 具有表面处理和净化功能，适于水蒸汽和挥发性/药液排气等轻工艺用途。 具体来说诸如真空干燥、冷冻干燥、灰化和一般工业用途等。 规格
*1：到达压力时 *2：C式样不可流通Purge gas *3：Purge gas使用时的*大水蒸气处理量 Note)C式样不可对应无漏
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