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罗茨泵

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产品名称: 罗茨泵
产品型号: PRC-018A
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

罗茨泵  的详细介绍

ULVAC 罗茨泵 PRC-018A

特点
无油
由于没有润滑油，因此对于水蒸气和溶剂等的蒸汽，也可以具有稳定性。
采用密封电机
通过采用密封电机，可以不需要大气/真空机械密封。 可以在没有漏油的清洁环境中使用。
表面处理，具有优异的耐腐蚀性
主要部件采用阳极氧化铝处理，具有高表面硬度和优异的耐腐蚀性，并可防止泵内部的划伤和腐蚀。 还提供可选的表面处理。
大气压驱动型（选件：变频器）有效减少排气时间
可以与粗抽泵同时启动，与标准型相比，可以减少排气时间。
用途
蒸着、溅射、离子电镀
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
分析设备、检漏设备
气体置换、充填、真空隔断
热处理炉、溶解炉
其他各种真空设备
规格

型号 *1 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A
*大排气速度 50Hz 280 m3/h
（4670 L/min） 		500 m3/h
（8330 L/min） 		1000 m3/h
（16700 L/min） 		1500 m3 /h
（25000 L/min）
60Hz 330 m3/h
（5500 L/min） 		600 m3/h
（10000 L/min） 		1200 m3/h
（20000 L/min） 		1800 m3/h
（30000 L/min）
*大吸氣壓力 50Hz 1.2 x 103 Pa 1.3 x 103 Pa 1.2 x 103 Pa
60Hz 9.3 x 102 Pa 1.1 x 103 Pa 9.3 x 102 Pa

*大允許壓差

50Hz 4.0 x 103 Pa 7.3 x 103 Pa 4.3 x 103 Pa
60Hz 3.3 x 103 Pa 6.0 x 103 Pa 3.2 x 103 Pa
到达压力 *2 4.0 x 10-1 Pa 6.7 x 10-1 Pa
容許驅動壓力 ～1.0 x 105 Pa（大气压开始型）
电机 *3 电机类型 密封三相感应电动机
高效率等級 ー
出力 0.75 kW( 2极数 ) 2.2 kW( 2极数 ) 3.7 kW ( 2极数 ) 5.5 kW( 2极数 )
电压
(200V系统) 		50Hz 200 V
60Hz 200/220 V
液压油 *4
ULVOIL R-42
油量 0.7 L 1.5 L 1.9 L
冷卻方式 水冷
冷却水 一次側壓力 0.3 Mpa
吸气/排气口壓差量 0.01 Mpa以上
冷却水量 2 L/min 32 L/min
冷却水温 *5 5 ～ 30 ℃
吸气口 JIS-B-2290 VF80 相当 /
ISO80F 或 ISO100F (可選) 		VG100 相当 /
ISO100F (可選) 		VG150 相当 /
ISO160F (可選)
排气口 JIS-B-2290 VF80 相当 /
ISO80F 或 ISO100F (可選) 		VF100 相当 /
ISO100F (可選)
外直径(尺寸) W×D×H *6 296×575×260
mm 		356×619×320
mm 		406×759×340
mm 		406×989×340
mm
重量 51 kg 86 kg 118 kg 150 kg
標準粗抽泵 VD601 VD901
VS2401
VS2401
符合规格 -
标准附属品 泵所需油量，使用说明书
选配件 未经表面处理的泵，紧定法兰，大气压启动类型（逆变器),
合成油或氟油类型，润滑腔排空口，不同电压电机

note)此目录使用 SI单位系统。 使用非 SI单位制的转换如下。
4.0 x 10-1 Pa = 3.0 × 10-3 Torr
*1　标准模型带有表面处理 (阳极氧化涂层)。 可选地，无需表面处理模型就可以选择。
*2　用皮拉尼真空计测定。 (测量条件 : 标准后备泵和标准真空油。)
*3　不能选配**增强型防爆型和耐压防爆型法兰电机。
*4　油选项：可选择氟油（J25F）类型，请与我们联系。
*5　在无结露的环境中使用。
*6　有关其他尺寸，请访问ULVAC网站并参考发布的CAD数据。

排气速度曲线

PRC-003A/006APRC-003A,006A_curve.png PRC-012A/018APRC-012A,018A_curve.png

尺寸图

PRC_size.png
PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A
W 296 356 406 406
D 575 619 759 989
H 260 320 340 340


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