ULVAC 节电配件 ECO-SHOCK:ES10
特点 干泵的耗电量*大可以减少80%(与弊社产品相比) 在所有压力范围内,排气速度均不会下降 设置简单 用途 用于排出空气,氮气,氩气等惰性气体的干泵 溅射设备等的loading/unloading室用的干泵 规格
*1 电源频率60Hz*1 电源频率60Hz *2 功耗为极限压力时的代表值 *3 包括ECO-SHOCK的功耗 *4 密封气体、吹扫气体流量0Pa・m3/s时。取决于密封气体、吹扫气体流量
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