多级罗茨型干泵

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产品名称: 多级罗茨型干泵

产品型号: CR60B

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: ULVAC

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多级罗茨型干泵 的详细介绍

ULVAC 多级罗茨型干泵 CR60B

特点
由于排气室是非接触的并且不使用油，因此可以长时间稳定排气。
无需冷却水和氮气，有助于降低运行成本。
安装了DC密封电机实现节能，气密和减重。
气镇压机构可以排出蒸汽。
符合CE,cTUVus
用途
空气、惰性气体等洁净气体的真空排气
真空干燥等水蒸气的排出（需要使用气镇）
溅射，蒸发等真空设备
规格

型号		CR16B	CR30B	CR60B-S	CR60B-T	CR300B
*大排气速度	m³/h	16	30	55		300
	L/min	280	500	920		5000
到达压力 *1	Pa	≦3.0				≦0.5
*大排气压力（吸入圧力）		大气压
*大排气口压力（排出圧力）		大气压
电源 *2		单相 : 100V, 200V　三相 : 200V		单相:200V	三相 : 200V	三相 : 200V
电机额定功率	kW	0.72		1.5		3.0
吸气口		KF25		KF40		KF50
排气口		KF25		KF40
质量	kg	35		48		100
符合规格		CE、cTUVus
冷却方式		空冷
气镇机构 *3		选配件
大水蒸气处理量 e 4	g/h	<300		<500
标准附件		电源用连接器、信号用连接器、使用说明书、空气过滤器、护套

※1 极限压力是气镇阀内没有气体时的值。
※2 请从上表中选择使用电源的相位和电压，订购时注明。
※3 气镇用阀门为选装件。
※4 使用气镇时候的*大水蒸气处理量。水蒸气排气时请务必使用气镇机构。

机身选项

型号		CR16B	CR30B	CR60B	CR300B
气镇机构	针阀	〇	〇	〇	〇
气镇机构	电磁阀 + 针阀	〇	〇	〇	〇
橡胶脚垫		〇	〇	〇	〇

配件

型号		CR16B	CR30B	CR60B	CR300B
消音器	RS-01＋套件 D	〇	〇	-	-
	RS-01＋套件 A	-	-	〇	-
	RS-01＋套件 C	-	-	-	〇
简易型消音器 *1	EFS-11-NW25/2/2516	〇	〇	-	-
简易型消音器 *1	EFS-19-NW40/1 *2	-	-	〇	〇
电源互换BOX	Ver.A→Ver.B	〇	〇	〇	〇

*1 由于是滤芯型消音器，因此需要更换维护。
*2 不能连接到管路上。（开放型）

尺寸图

CR16B、CR30B、CR60B

CR300B

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