多级罗茨型干泵

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产品名称: 多级罗茨型干泵

产品型号: LR60

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: ULVAC

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多级罗茨型干泵 的详细介绍

ULVAC 多级罗茨型干泵 LR60

特点
低温区域均热化（LR系列）
在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。
氦气密封
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常**。
瞬停对策
采取了1000msec以内瞬停对策。
出色的耐腐蚀性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
通信功能
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。
用途
成膜装置（溅射装置/蒸镀装置等）
缩短备料下料室的排气时间
作为辅助排气泵（涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气）
规格

型号		LR60	LR90	LR180	LR421	LR421-T
*大排气速度	50Hz	62 m³/h (1030 L/min)	112 m³/h (1860 L/min)	183 m³/h (3100 L/min)	440 m³/h (7333 L/min)	440 m³/h (7333 L/min)
	60Hz	80 m³/h (1333 L/min)	126 m³/h (2100 L/min)	237 m³/h (3950 L/min)
到达压力		5.0 Pa
*大排气压力（吸入圧力）		大气压
*大排气口压力（排出圧力）		1~ 大气压 Pa
吸气口 (CE规格)		VG50(KF50)	VG80(KF50)		VG100
排气口		KF40			VG50
质量		180 kg	245 kg	335 kg	415 kg
电源 *1	三相	200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)			180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz)
电流值	稳定时	6.9 A (at 200V)	11.2 A (at 200V)	18.9 A (at 200V)	20.8 A (at 200V)
	*大值	7.3 A (at 200V)	11.8 A (at 200V)	20.6 A (at 200V)	48.5 A (at 200V)
冷却水一次压力		0.1~0.3 MPa			0.2~0.5 MPa
冷却水出入口压差		>0.1 MPa			>0.2 MPa
冷却水流量		>5.0 L/min			>4.0 L/min
吹扫气	一次压力	0.1~0.5 MPa
	二次压力	0.05~0.1 MPa
氮气吹扫	轴	5 SLM
	气镇	0~45 SLM			没有	0~45 SLM

*1 请订购时指定。

型号		LR300	LR600	LR1200	LR1800	LR3601	LR3601-T (TT)	LR3601-R	LR3601-TR (TTR)
使用泵	干式真空泵	LR60	LR90	LR90	LR180	LR421	LR421-T	LR421	LR421-T
	机械增压泵	PRC-03A	PRC-06A	PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C	PRC-036C (-T)	PRC-036D	PRC-036D (D-T)
*大排气速度	50Hz	359 m³/h (5,980 L/min)	653 m³/h (10,900 L/min)	1,012 m³/h (16,900 L/min)	1,701 m³/h (28,350 L/min)	3,200 m³/h(53,333 L/min)
	60Hz	365 m³/h (6,080 L/min)	701 m³/h (11,700 L/min)	1,051 m³/h (17,500 L/min)	1,784 m³/h (29,700 L/min)
到达压力		0.67 Pa
*大排气压力（吸入圧力）		大气压
*大排气口压力（排出圧力）		1~ 大气压 Pa
吸气口 (CE规格)		VG80 (KF80)		VG100 (KF100)	VG150 (KF100)	VG150
排气口		KF40				KF50
MBP表面处理		〇 *1	〇 *1	〇 *1	〇 *1	×	T:× TT:×	×	TR:× TTR:〇
质量		275 kg	370 kg	420 kg	545 kg	660 kg	720 kg	660 kg	720 kg
电源 *2	三相	200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)				180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
电流值	稳定时	7.0 A (at 200V)	12.3 A (at 200V)	13.7 A (at 200V)	21.4 A (at 200V)	31.0 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)		35.4 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)
	*大值	9.6 A (at 200V)	19.0 A (at 200V)	24.2 A (at 200V)	39.8 A (at 200V)	58.4 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)		82.0 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)
冷却水一次压力		0.1~0.3 MPa				0.2~0.5 MPa
冷却水出入口压差		>0.1 MPa		0.1~0.3 MPa		0.2~0.5 MPa
冷却水流量		>5.0 L/min				>4.0 L/min
吹扫气	一次压力	0.1~0.5 MPa
	二次压力	0.05~0.1 MPa
N2 吹扫	轴	5 SLM
	气镇	0~45 SLM				没有 *3	0~45 SLM	没有 *3	0~45 SLM