多级罗茨型干泵

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产品名称: 多级罗茨型干泵

产品型号: GR60A

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: ULVAC

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多级罗茨型干泵 的详细介绍

ULVAC 多级罗茨型干泵 GR60A

特点
可应用于大气真空间反复抽气的高负荷领域，可在高负荷下持续使用。
适用load lock室（装载/卸载室），可实现高吞吐量。
感应电机可通用
可以安装防爆电机等特殊电机（可选）
采用多电压兼容电机
用途
空气、惰性气体等洁净气体的真空排气
各种成膜设备放入取出室的真空排气
真空干燥，真空气体置换和真空脱泡等一般产业
真空气体置换，如真空热隔绝和气体填充
规格

型号			GR60A	GR90A	GR180A
*大排气速度	50Hz	m³/h(L/min)	62(1030)	112(1030)	183(3100)
	60Hz	m³/h(L/min)	80(1333)	126(2100)	237(3850)
极限压力 *1		Pa	5.0
*大排气压力（吸入圧力）			大气压
*大排气口压力（排出圧力）		Pa	1.0 ~ 大气压
吸气口			VG50	VG80
排气口			NW40
DRP表面处理			〇
电机	输出 [kW]		2.2	3.7	7.5
	电压 [V]	50Hz	200~240/380~415
		60Hz	200~240/380~460
质量		kg	128	188	268
冷却方式	冷却水一次供给压力	MPa	0.1~0.3
	冷却水出入口压差	MPa	>0.1
	冷却水温度	℃	10~30 *2
	冷却水流量	L/min	>5.0
氮气	一次侧供给圧力	MPa	0.1~0.5
	二次侧调整圧力 *3	MPa	0.05 to 0.1 (运作时)
	轴	SLM	5.0 *4

*1 极限压力是氮气（轴封气体）为5.0 SLM时的值。
*2 不结露。
*3 通过调节器调节压力计值。
*4 氮气（轴封气体）的流量固定为5.0SLM。

配件

型号		材质	表面处理	重量(kg)	法兰接口	GR60A	GR90A	GR180A
消音器	RS-01+ 套件A	SUS304	GBB处理	4.1	KF40	〇	〇	-
消音器	RS-01+ 套件C	SUS304	GBB处理	8.3	KF40	-	-	〇