多级罗茨干式真空泵

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产品名称: 多级罗茨干式真空泵

产品型号: HR90

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: ULVAC

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多级罗茨干式真空泵 的详细介绍

ULVAC 多级罗茨干式真空泵 HR90

特点
在高温区域实现热平衡。
可将 CVD、蚀刻等产生的可升华废气物质以气态形式排出。
UR 系列可达到比 HR 系列更高的温度。
氦气密封
采用带罐装电机的密封结构，**性极高。
防止瞬间断电
提供 1000 毫秒内的瞬间断电措施。
**的耐腐蚀性
主要部件均经过特殊表面处理，表面硬度高，具有出色的耐腐蚀性。在排出腐蚀性气体时，可减少泵内部的腐蚀。
通信功能
可读取泵运行状态和警告/报警历史数据。可使用专用软件通过计算机通信进行集中监控。
应用
CVD 设备
蚀刻设备
灰化设备
ALD、ALH 等
规格

型式			HR60	HR90	HR300	HR600	HR1200
使用ポンプ		DRP	HR60	HR90	HR60	HR90	HR90
		MPB	-	-	PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A
*大排気速度	50Hz	m³/h (L/min)	62(1030)	112(1860)	359(5,980)	653(10,900)	1,012(16,900)
	60Hz	m³/h (L/min)	80(1333)	126(2100)	365(6,080)	701(11,700)	1,051(17,500)
到達圧力		Pa	5		0.67
*大吸気口圧力 (吸入圧力)			大気圧 *1
*大排気口圧力 (排出圧力)		Pa	1~大気圧
吸気口(CE仕様)			VG50(KF50)	VG80(KF50)	VG80(KF80)		VG100(KF100)
排気口			KF40
質量		kg	180	245	275	370	420
電力	三相	VAC(Hz)	200(50/60), 220(60)
電流値	定常時	A	7.1 (200V時)	11.2 (200V時)	7.8 (200V時)	12.9 (200V時)	15.4 (200V時)
	*大値	A	7.3 (200V時)	11.8 (200V時)	8.1 (200V時)	13.8 (200V時)	18.9 (200V時)
冷却水一時圧力		MPa	0.1~0.3
冷却水出入口差圧		MPa	>0.1
冷却水流量		L/min	>5.0
清洗气体	一次圧力	MPa	0.1~0.5
	二次圧力	MPa	0.05~0.1
N₂パージ	軸	SLM	5
	ガスバラ	SLM	0~45