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多级罗茨型干泵

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产品名称: 多级罗茨型干泵
产品型号: UR421-T
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
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多级罗茨型干泵  的详细介绍

ULVAC 多级罗茨型干泵 UR421-T

特点
高温区域均热化
实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
UR系列可比HR系列更加高温化。
氦气密封
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常**。
瞬停对策
采取了1000msec以内瞬停对策。
出色的耐腐蚀性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
通信功能
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。
用途
CVD装置
蚀刻装置
灰化装置
ALD、ALH 等
规格

型号 UR421-T UR600 UR1200 UR1800 UR3601-TT
使用泵 干式真空泵
UR421-T
UR90 UR90 UR180 UR421-T
机械增压泵 - PRC-006A PRC-012A PRC-018A PRC-036C-T
*大
排气速度 		50Hz 410 m3/h
(6833 L/min) 		653 m3/h
(10883 L/min) 		1012 m3/h
(16867 L/min) 		1701 m3/h
(28350 L/min) 		2700 m3/h
(45000 L/min)
到达压力
5.0 Pa
*大排气压力（吸入圧力） 大气压
*大排气口压力
（排出圧力） 		1.0~ 大气压 Pa
吸气口 (CE规格) VG100
VG80(NW80)
VG100(NW100)
VG150(NW100)
VG150
排气口 VG50
NW40
NW50
质量 415 kg 370 kg 403 kg 553 kg 720 kg
电源 *2 三相 180～240 VAC/
380～440 VAC
(50/60 Hz) 		200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz) 180～240 VAC/
380～440 VAC
(50/60 Hz)
电流值 稳定时 23 A(at 200V) 16.4 A(at 200V) 18.9 A(at 200V) 29.2 A(at 200V)
20.5 A(at 400V) 		39.8 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
*大值 52.5 A(at 200V) 17.3 A(at 200V) 22. 4 A(at 200V) 34.9 A(at 200V)
40.5 A(at 400V) 		68.3 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷却水一次压力 0.2~0.5 Mpa 0.1~0.3 Mpa 0.2~0.5 Mpa
冷却水出入口压差 >0.2 Mpa >0.1 Mpa >0.1 Mpa >0.1 Mpa >0.2 Mpa
冷却水流量 >5.0 L/min
吹扫气 一次压力 0.1~0.5 Mpa
二次压力 0.05~0.1 Mpa
N2吹扫 轴 5 SLM
气镇 0~195 SLM 0~45 SLM 0~195 SLM 0~195 SLM

*1:请勿在UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT大于压力值200Pa的情况下进行连续运
*　没有登载规格一览表上的UR系列请另行确认

■运转方式

干式真空泵运转方式 1 2 3
N2 流量 SLM 0 5 5~50*1


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