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螺杆型干泵

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产品名称: 螺杆型干泵
产品型号: MS1200A
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

螺杆型干泵  的详细介绍

ULVAC 螺杆型干泵 MS1200A

特点
通过对转子轴、筒体和其他主要部件进行特殊表面处理，实现了高耐腐蚀性。
ULVAC 独特的螺旋式转子轴设计实现了高粉末排放性能。
可在从大气压力到达到压力的整个压力范围内连续运行。
用途
电子元件和半导体制造设备的真空排气系统。
蚀刻设备、灰化设备、等离子清洗设备等。
真空热处理炉的真空排气系统
烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备的真空排气系统
电极干燥设备、消泡设备、液体灌装设备等。
医疗和食品相关设备的真空排气系统
冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
MS1200A 可配备额外的控制板和传感器。 请联系我们。
规格

型号 MS120A型 MS600A系列 MS1200A
*大抽速 *1 m3/小时 115 560 980
极限压力 帕 ≦0.6 ≦0.1
电源电压 三相，50/60Hz，AC200-240V±10% 或三相，50/60Hz，AC380-480V±10%
近似功耗 *2 千瓦 2.4 3.1 3.1
冷却水量 L/分钟 >4.0
吹扫气体量 *1 SLM公司 0~50
*大水蒸气流量*1
*3 		公斤/小时 1.5
噪音水平 *2 分贝（A） 61 62 64
进气口 KF50 （卧式） / VG50 （立式） ISO-F-80认证 ISO-F-100认证
排气口 KF40型
重量*4 公斤 139 241 264
法规遵从性 CE、cTUVus
标准配件 快速手册、电源连接器、防水电缆夹、信号连接器、电源连接器护罩、专用消音器1套
主机选项 电源电压：200 V 级或 400 V 级
密封材料：氟橡胶 （FKM） 或全氟弹性体 （FFKM）
外部选件 机柜排气口、抗震夹具、LR 兼容装置（进气口、信号）、吹扫气阀

*1：典型值
*2：使用吹扫气体时
的*大水蒸气处理量*3：达到压力。
*4：含消音器

抽速曲线

  • MS120A型
    ms120a_curve.png
  • MS600A系列
    ms600a_curve.png

  • ms1200a_curve.png MS1200A

尺寸图

ms_size_j2.png


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