ULVAC 油回转真空泵 VS300A-W
特点
同类产品中占地面积*小
□874×404mm 设计紧凑。
可直连机械增压泵(MBP)
使用MBP安装组件可无需框架直接搭载MBP。
内置油雾过滤器
回油装置亦内置。
不易向外部漏油的构造
油封和轴封两级密封,防止向外部漏油。
用途
光学膜蒸镀设备
反射器蒸镀设备
装饰用蒸镀设备
薄膜卷绕蒸镀设备
内嵌溅射设备
烘烤炉 /热处理炉
冻干设备
检漏设备
规格
注意:本资料采用SI测量单位。 *1 到达极限压力(GP关)后会进行慢泄。关闭慢泄阀,真空度≦8Pa。 *2 平均声压级根据ISO2151进行测量・计算。
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