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晶圆搬运机器人

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产品名称: 晶圆搬运机器人
产品型号: SR8608
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: NIDEC
产品文档: 无相关文档

晶圆搬运机器人  的详细介绍

NIDEC尼得科 晶圆搬运机器人 SR8608

特点：
 
・可实现高速取放的2手臂×2个*大直径(SR8608系列）・飞镖型手臂可实现*小旋转半径（实现较小的占地面积）・用很长的可动距离来确保大的预存量

真空度(Pa) 3×10-6
自由度(附带**编码器) 4-AXIS
動作範囲「RR/RL轴」(㎜) -340～+360
動作範囲「θ轴」(deg) -95～+185
動作範囲「Z轴」(㎜) 150
*大速度「RR/RL轴」(deg) 225(2670㎜/sec)
*大速度「θ轴」(deg/s) 225
*大速度 「Z轴」(㎜/s) 100
*大速度「重复精度」(㎜) +/-0.1
*大速度「噪音」(dB) 70 or less
*大速度「本体重量」(kg) 180(include hand)
*大速度「漏率」 1×10-6Pa・m3/sec
*大速度「主体外护套」 SUS cover, Aluminum cover
*大速度「运行条件」 0～40℃,30～90％
*大速度「储存条件」 -30～70℃,10～95％
产品搬运公司 日本电产三協



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