KAIJO楷捷_兆声水幕清洗机_7979BK
USシャワー(両面対応)超音波洗浄機 LCD・ウェーハ基板の枚葉洗浄 特殊反射方式でレンズシャワー方式に比べ構造がシンプルで洗浄効率が高い ■特徴 ●従来のUSシャワーに比べ、約5倍の超音波強度(当社比)が得られ洗浄効果が大幅にアップしました。 ●枚葉式LCD洗浄装置に組込み、裏面洗浄が可能。 ●0.2μm以下のパーティクルをメガソニックが除去し、超精密洗浄が可能。 ●高周波(950kHz)で被洗浄物へのダメージが極めて少ない。
項目
仕様
型名
6879BK
7979BK
78BK30-660
許容入力
600W
900W
1200W
公称共振周波数
950kHz
有効洗浄寸法
330mm
495mm
660mm
所用水量
20~25㍑/分
20~30㍑/分
40~45㍑/分
ケース材質
SUS316L
振動板材質
接液部
複合電解研磨処理
*高使用温度
70℃
コード長
振動子用:5M2本
振動子用:5M3本
振動子用:5M4本
センサー用:5M1本
センサー用:5M2本
保護回路
液面センサー(テフロン)
FU93(キーエンス)
重量
5㎏
6㎏
7㎏
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