清洗机

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产品名称: 清洗机
产品型号: 6879BK
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: KAIJO楷捷
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清洗机  的详细介绍

KAIJO楷捷_兆声水幕清洗机_6879BK

USシャワー(両面対応)超音波洗浄機
LCD・ウェーハ基板の枚葉洗浄
特殊反射方式でレンズシャワー方式に比べ構造がシンプルで洗浄効率が高い
■特徴

●従来のUSシャワーに比べ、約5倍の超音波強度(当社比)が得られ洗浄効果が大幅にアップしました。
●枚葉式LCD洗浄装置に組込み、裏面洗浄が可能。
●0.2μm以下のパーティクルをメガソニックが除去し、超精密洗浄が可能。
●高周波(950kHz)で被洗浄物へのダメージが極めて少ない。

項目

仕様

型名

6879BK

7979BK

78BK30-660

 

許容入力

600W

900W

1200W

 

公称共振周波数

950kHz

 

有効洗浄寸法

330mm

495mm

660mm

 

所用水量

20~25㍑/分

20~30㍑/分

40~45㍑/分

 

ケース材質

SUS316L

 

振動板材質

SUS316L

 

接液部

複合電解研磨処理

 

*高使用温度

70℃

 

コード長

振動子用:5M2本

振動子用:5M3本

振動子用:5M4本

 

センサー用:5M1本

センサー用:5M1本

センサー用:5M2本

 

保護回路

液面センサー(テフロン)

 

FU93(キーエンス)

 

重量

5㎏

6㎏

7㎏

 


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