KAIJO楷捷_兆声波发生器_70110型
高周波超音波洗浄機 メガソニック洗浄（ハイメガソニック） ７５０ｋＨｚ／９５０ｋＨｚ Ｓｉｳェｰﾊ、ＧａＡｓ等の洗浄 液晶ガラスの洗浄 ガラスマスクの洗浄 ハードディスクの洗浄 水晶振動子の洗浄 薄膜磁気ヘッドの洗浄 脆性材料等の洗浄 その他超精密洗浄 ◆半導体や液晶などに要求される４５ｎｍ以下の超微粒子をハイメガが除去 ■特徴 メガソニック洗浄は超精密洗浄に威力を発揮する高周波洗浄機です。 半導体ウエハーや、液晶、ＨＤＤなどの超微粒子の除去にお使いいただいております。 高周波（７５０ｋＨｚ、９５０ｋＨｚ）のメガソニック洗浄は主に加速度で洗浄を行います。 このため、キャビテーションが殆ど発生しません。キャビテーションによるエロジョン（ダメージ）や定在波による洗浄ムラの解決に有効です。 ■発振器特徴 ●０．１Ｗパワー設定可能。高い電力安定性を実現。 ダメージレス洗浄対応の精密出力コントロールが容易に！ (200kHz以上に対応) ●４種類の特殊発振モード選択により、従来以上の高精度に精密洗浄が可能 ●立上げ時・立下げ時のスピードを設定可能 ●ＱＵＡＶＡシリーズはハイメガソニックシリーズとの互換性があり 発振器の入替で洗浄性能ＵＰが可能。 ●旧ハイメガ78101型に比べ81％に小型化、重さも17ｋｇと軽量化！ ●サイズは19インチラックに収納できる 規格化されたサイズ ●振動子交換時の調整は原則不要（マッチングレス） ●用力はフリー電源方式のため、工場の電源電圧変動などに左右されません ●１０種類の周波数に対応しているので、後から振動子を交換することで、 周波数の変更が可能。 対応周波数：２６ｋＨｚ／３８ｋＨｚ／７８ｋＨｚ／１００ｋＨｚ／１３０ｋＨｚ／ １６０ｋＨｚ／２００ｋＨｚ／４３０ｋＨｚ／７５０ｋＨｚ／９５０ｋＨｚ ■発振器スペック
項目
仕様
定格出力
１２００Ｗ ※
発振周波数
26kHz/38kHz/78kHz/100kHz/130kHz/160kHz/200kHz/430kHz/750kHz/950kHz （振動子の選択で変更）
発振モード
ＰＬＬ発振／固定発振／Ａモード発振／Ｂモード発振
電源
電流
１０Ａ
電圧
AC200V～AC240V（±10％ 1Φ 50/60Hz）
外形寸法
430（W) ×418（D) ×148（H)
重量
１７Ｋｇ
主な機能
リモートモード
8段階出力
RS485通信
異常出力端子
アナログ出力（出力のモニタリング） 0-5V(標準設定） or 4-20ｍA（出荷時切替可能）
ウェーハ6 振動板仕様
ウェーハ8 振動板仕様
ウェーハ12 振動板仕様
型名
7857S型
8857S型
98SL型
許容入力
300Wx4
300Wx6
300Wx16
周波数
950kHz
750kHz
振動輻射面(mm)
136x163
165x215
275x319
振動板材質
SU316L
振動体
PZT
*高使用温度
70℃
外形寸法 (WxDxHmm)
185x215x55
255x305x55
410x340x65
取付方法
ボルト固定
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