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溅射器

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产品名称: 溅射器
产品型号: SV-6040
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

溅射器  的详细介绍

ULVAC_间歇式溅射器_SV-6040

SV系列立式的批次式溅射设备。磁盘压模专用沃特- 200基板大量可以处理的旋转木马型。

沃特- 4540，6040，9045是旋转木马型基板训练量很多，小〜中型或少量生产多品种的*适合
沃特- 200磁盘压模Ni成膜特化的装置，超小型，全自动，实现高通量

在各种底板上的电极膜膜，绝缘膜，电介膜膜

  SV-200 SV-4540 SV-6040 SV-9045
標準排気系 8"クライオポンプ 12"クライオポンプ 12"クライオポンプ 16"クライオポンプ
到達圧力 6.7e-5Pa 6.7e-5Pa 6.7e-5Pa 6.7e-5Pa
デポ方向 サイド サイド サイド サイド
成膜エリア　均一性
静止
回転 		φ200mm ± 5% L300mm ± 10% L300mm ± 10% L400mm ± 10%
基板加熱 無し 250°C 250°C 250°C
制御系 自動 自動 自動 自動
オプション
SV-200を除く 		ターボポンプ 非水冷電極
油拡散ポンプ APC機構
多元同時デポ 基板反転機構
ダウンデポ 反応性スパッタ
コンベンショナルカソード  
強磁性体用カソード  
RFエッチクリーニング(SV-4540)  
バイアス機構(SV-4540)  

 

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