6.7×10-2Pa以下（水銀マクラウドゲージ使用）
型式 KP-2500BG KP-3200BG 構造 振動ピストン形1段 ガスバラストバルブ付属 設計排気速度 [L/min] 2500 3200 到達圧力 [Pa] 8×10-1 （ピラニ真空計にて測定） 8×10-1 （ピラニ真空計にて測定） 所要モータ [ACV, φ, kW] 200, 3, 3.7 （全閉外扇形モーター） 200, 3, 5.5 （全閉外扇形モーター） 回転速度 [r/min] 460 560 吸気口 VG 80 VG 80 排気口 PS 2 1/2 PS 2 1/2 使用油 TSR-1200 TSR-1200 油量 [L] 5 5 大きさ※ [mm] 950×750×530 950×750×530 質量※ [Kg] 260 290 水処理量 [L/h] 2.5 3.2 騒音 [dB] 74 76 振動 [mm] 振幅0.1mm以下 振幅0.1mm以下 冷却方式 水冷/空冷 水冷 冷却水量 [L/mim] 4/－ 4 SHIBAURA芝浦 KP-3200BG油回转真空泵
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